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產(chǎn)品詳細(xì)頁(yè)
MLT-Z系列超高精度線性電機(jī)垂直位移臺(tái)
簡(jiǎn)要描述：MLT-Z系列超高精度線性電機(jī)垂直位移臺(tái)緊湊、薄型、高精度線性平臺(tái)將 XM 系列的超精密性能與緊湊型 VP 線性平臺(tái)系列相結(jié)合。MLT-Z垂直位移臺(tái)通過(guò)磁性彈簧平衡系統(tǒng)保持出色的定位性能。MLT位移臺(tái)非常適合半導(dǎo)體、工業(yè)或研究市場(chǎng)中的典型掃描或點(diǎn)對(duì)點(diǎn)應(yīng)用，用于計(jì)量、傳感器測(cè)試和校準(zhǔn)、對(duì)準(zhǔn)以及拾放組裝。最佳MIM和精度經(jīng)過(guò)FEM優(yōu)化的堅(jiān)固鋁制機(jī)身可防止熱彎曲效應(yīng)
產(chǎn)品型號(hào)：- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間：2024-11-08
- 訪 問(wèn) 量：457
產(chǎn)品介紹
| 品牌 | Newport/美國(guó) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
MLT-Z系列超高精度線性電機(jī)垂直位移臺(tái)產(chǎn)品規(guī)格
| 型號(hào) |  | |
| MLT25-Z | MLT50-Z | |
| 行程范圍 | 25 mm | 50 mm |
| 最小位移增量 | 5 nm | 5 nm |
| 最大速度 | 500 mm/s | 500 mm/s |
| 最大加速度 | 0.5 g | 0.5 g |
| 最大持續(xù)力 | 3 N | 3 N |
| 中心負(fù)載能力 | 5 N | 5 N |
| 精度，保證值 | ±0.5 µm | ±0.7 µm |
| 雙向重復(fù)精度，保證值 | ±0.15 µm | ±0.15 µm |
| 俯仰，保證值 | ±50 µrad | ±75 µrad |
| 偏擺，保證值 | ±50 µrad | ±75 µrad |
| 典型平面度 | ±1 µm | ±2 µm |
| 直線度，保證值 | ±1 µm | ±2 µm |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | Ironless Motor | Ironless Motor |
| 反饋 | 1 Vpp 20 µm pitch | 1 Vpp 20 µm pitch |
| 電纜長(zhǎng)度 | 2.9 m | 2.9 m |
| 重量 | 3.0 kg | 3.2 kg |
| Compliance | ||
MLT-Z系列超高精度線性電機(jī)垂直位移臺(tái)特征
可靠的設(shè)計(jì)
每個(gè)MLT平臺(tái)的底座均采用高強(qiáng)度鋁合金制成，并通過(guò)有限元方法 (FEM) 進(jìn)行了優(yōu)化，以獲得最佳的剛性和熱性能。選擇部件，如長(zhǎng)壽命和高負(fù)載交叉滾子軸承、大力直線電機(jī)和高精度直線編碼器，兼顧性能和可靠性。內(nèi)置限位開(kāi)關(guān)可防止超程和碰撞。為了保證MLT的高可靠性，進(jìn)行了大量的試驗(yàn)。
Ironless Motor
MLT series stages are equipped with MKS designed ironless motors that include hall effect sensors and thermistor in a very compact size. Compared to iron core motors, the main advantage of ironless motors is better speed stability (no cogging) and shorter settling time, which is critical for fiber alignment applications.
低運(yùn)維成本
MLT 系列緊湊、薄型和快速平臺(tái)占用更少的空間，以更高的加速度和速度運(yùn)行，降低了運(yùn)行成本。 此外，由于它們的高可靠性設(shè)計(jì)，它們需要的初始投入低且需要的維護(hù)更少。
多種配置
MLT 系列還提供 線性平移臺(tái)，行程范圍為25 mm至250mm?？梢岳每捎玫陌惭b孔內(nèi)置到XY疊堆中。預(yù)組裝的XYZ疊堆可在短行程25毫米和50毫米范圍內(nèi)使用。
平衡板
垂直平移臺(tái)配有4個(gè)可拆卸的磁性平衡板，以適應(yīng)一系列垂直負(fù)載，同時(shí)保持出色的定位性能。使用的平衡板數(shù)量取決于客戶的有效負(fù)載。
即插即用 ESP 兼容
MLT 兼容支持即插即用 ESP 技術(shù)的 XPS 系列標(biāo)準(zhǔn) MKS 控制器，無(wú)需復(fù)雜的驅(qū)動(dòng)程序配置即可輕松啟動(dòng)。 （注意XY配置需要手動(dòng)設(shè)置參數(shù)。）
負(fù)載特性
Compatible Controllers
Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.
