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- XM 超精密線性電機平移臺
XM 超精密線性電機平移臺可提供持續(xù)、可靠的動力性能，運動精度可以達到 1 nm。如此強大的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應用的理想選擇。 性能超高，最小增量運動為 1 nm 非接觸直接驅動系統(tǒng)，精度超高、動態(tài)性能優(yōu)異且操作可靠 亞納米級高精度玻璃標度編碼器，重復精度為 80 nm 超大型無鐵心高效率線性電機可最大限度地減少發(fā)熱 靜音抗蠕變交叉滾子軸承可確保無波紋運動
- 型號：
- 更新日期：2024-11-08
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- MLT 薄型鋁制直線電機平臺
MLT 薄型鋁制直線電機平臺緊湊、薄型、高精度線性位移臺將 XM 系列的超精密性能與VP 線性位移臺系列的緊湊性相結合。 這些位移臺集合了適用于各種工業(yè)應用的MKS精密位移臺的最新創(chuàng)新設計和專業(yè)知識，同時包含了與 MKS 運動控制器一起使用所需的基本設置。 MLT 位移臺非常適合半導體、工業(yè)及科研中的典型掃描或點對點應用，用于計量、傳感器測試和校準、對準和拾放組裝。
- 型號：
- 更新日期：2024-11-08
